Ledia 8

Ledia 8

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Ledia 8适用于ICS载板的直接成像系统
产品系列中,更佳的精度和稳定性

温度控制

结构上增加了冷却单元以优化设备内部的温度管理,此外对驱动部冷却效率进行改善并阻断向主机底座的热传导,从而提升成像位置的精度。

主机机台焕然一新

主体框架的刚性比以往的设备显著提升。更优化了曝光镜头和校准单元的位置关系,实现极佳的机台。

持续性校准

通过后台镜头校准,保持高生产效率同时,实现持续性高精度校准。

产品规格

型号

LI-8F

光源

高输出UV-LED

350~440nm

峰值波长 365/385/405nm

镜头数

5(6为选配件)

最大基板尺寸

524(W)×661(L)mm

610(W)×661(L)mm(6镜头选配件时)

最小开口孔径(开窗)※1

Φ40μm

描画位置精度(3σ)

5μm

最小线宽(L/S)※1

12μm

设备尺寸/重量 ※2

1830(W)×3200(D)

×2030(H)mm(不含塔灯)/3600kg

※1 根据感光材料的特性而有差异。
※2 尺寸重量为Ledia 8F主机的尺寸、重量