Ledia 8
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Ledia 8适用于ICS载板的直接成像系统
产品系列中,更佳的精度和稳定性
温度控制
结构上增加了冷却单元以优化设备内部的温度管理,此外对驱动部冷却效率进行改善并阻断向主机底座的热传导,从而提升成像位置的精度。
主机机台焕然一新
主体框架的刚性比以往的设备显著提升。更优化了曝光镜头和校准单元的位置关系,实现极佳的机台。
持续性校准
通过后台镜头校准,保持高生产效率同时,实现持续性高精度校准。
产品规格
型号 |
LI-8F |
---|---|
光源 |
高输出UV-LED 350~440nm 峰值波长 365/385/405nm |
镜头数 |
5(6为选配件) |
最大基板尺寸 |
524(W)×661(L)mm 610(W)×661(L)mm(6镜头选配件时) |
最小开口孔径(开窗)※1 |
Φ40μm |
描画位置精度(3σ) |
5μm |
最小线宽(L/S)※1 |
12μm |
设备尺寸/重量 ※2 |
1830(W)×3200(D) ×2030(H)mm(不含塔灯)/3600kg |
※1 根据感光材料的特性而有差异。
※2 尺寸重量为Ledia 8F主机的尺寸、重量