Ledia 6
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先进的技术开拓未来
UV-LED多波长曝光
光源采用节能、长寿命、采用更环保的LED光源。使用SCREEN独有高效合成多个波长的技术。从感光胶顶部到底部均匀照射能量。无论是油墨、高感度干膜、还是传统接触曝光设备和投影曝光设备中使用的普通干膜，本设备为所有类型的光敏材料提供高水平DI曝光品质。
各种阻焊剂的最佳曝光
通过配备高功率合成光3波长UV-LED光源。 根据各种类型阻焊膜，调整光功率各波长的合成条件。 能控制侧蚀形状，获得极佳的曝光品质。
高速对位扫描
对位扫描功能无需暂停工作台面运行，对复数靶标不停顿的读取扫描。与传统的步进式对位方式相比，即使是高密度靶标基板也能在更短的时间内读取对位靶标，提高生产效率和精确度。
产品规格
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Model |
LI-6S-M | LI-6S-P | LI-6S-S | LI-6S-L |
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光源 |
UV-LED 365/385/405nm |
UV-LED 365/385/405nm |
UV-LED 365/385/405nm |
UV-LED 365/385/405nm |
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镜头数 |
5 or 6 |
5 or 6 |
5 or 6 |
6 |
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最大 基板 尺寸 |
5 heads: 540（W）×661（L）mm 6 heads: 610（W）×661（L）mm |
5 heads: 540（W）×661（L）mm 6 heads: 610（W）×661（L）mm |
5 heads: 540（W）×661（L）mm 6 heads: 610（W）×661（L）mm |
648（W）×813（L）mm |
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最小 线宽 （L/S） |
30μm |
30μm |
30μm |
30μm |
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设备 尺寸 |
1,830（W） 2,585（D） 2,085（H） mm |
3,200（W） 2,900（D） 2,085（H） mm |
3,200（W） 2,900（D） 2,085（H） mm |
1,830（W） 2,935（D） 2,085（H） mm |
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重量 |
2,500kg |
3,800kg |
3,800kg |
2,800kg |
