Miyabi 7

Miyabi 7

业界更快的检查产能,无论在何种用途上都有极佳的性能表现

用于抽样检测

可以把抽样检测极大限度合理化、因为这是业界更快的MIYABI。比如从本来不做检查变为导入新机检测、或如从使用显微镜确认作业变为设备检测、又如将现有AOI自动检查设备进行升级换代等等,在所有的情况下您都可以感受到其物有所值。

可进行100% 检查

随着镭射孔设计的小型化,由于致命缺陷发生的风险让客户的标准变得更加严格,对全数检测的需求越来越大。MIYABI能合理满足这一需求。

适用于各种材料和制程,因此能在将来长期活跃

配备多角度直条拱形照明与三种类型的LED光源,无论检测对象什么状态下都能够进行检测。
不仅可以适应材料的特性、还能够根据除胶后、蚀刻后等制程的特点,提供最佳的照明条件进行检查。

通过精确的长度测量检查只检出您想要确认的缺陷

独自开发的VMeT(Via Major-extraction Technology)* 透过演算法进行精确长度测量检查,整面基板内所有的镭射孔上孔、孔底能在一次扫描中完成。
不仅可以检测镭射孔偏移和残胶异物,还可以实现先进制程控制所需的镭射孔上孔径、下孔径和真圆度的定量管理。

验证作业也变更快

搭载独自开发的FIT(Fluorescence-excited Image Technology)*1 验证单元,可让镭射孔壁面的绝缘层发出荧光*2 ,并且因为能够照亮整个镭射孔,孔底的状况可以清晰的辨识出来。 除了可以一目了然的判断是否为缺点,还可以依据材料来分辨异物的种类,省下改由显微镜来做再次确认的功夫。
*1 X/S级的选配功能
*2 荧光程度会因材料而异,因此请事先进行确认。

产品规格

型号

PI-7-H

规格

X

S

B

对应LVH孔径(Top)

≧Φ20μm

≧Φ30μm

≧Φ60μm

分析功能

线路检查

〇*

〇*

〇*

支持VMeT算法

支持FIT验证

可放板尺寸 (最大检测区域)

(X)720*(Y)740 mm

机台尺寸(宽*深*高)

主体

1,420*1,940*1,515 mm

鼓风机

395*476*501 mm

内置于主体

重量

850kg

〇:标准规格 ◇:选配规格
*需要额外搭配CU-9000 for MIYABI来制作检测数据